更新時間:2024-08-03
TQT-2NB57M2G4TQT-5NB57M2G4TQT-10NB57M2G4TQT-20NB57M2G4TQT-30NB57M2G4TQT-50NB57M2G4TQT-70NB57M2G4日本電測膜厚計COSMOS-3X
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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小空間和空間測量
極小部件,具有出色的可操作性和
精度
·采用雙濾波器實現(xiàn)精度,
在條件下進(jìn)行測量·多任務(wù)功能可實現(xiàn)其他處理,包括在測量過程中創(chuàng)建報告
·準(zhǔn)直器小值為0.05φmm,可測量極小部分
雙濾鏡采用
除數(shù)字濾波器外,機(jī)械濾波器(雙濾波器)可用于在件下進(jìn)行測量,以便始終獲得精度。
完整的報告準(zhǔn)備功能
通過采用MS-Windows軟件,您可以輕松捕獲測量屏幕并具有完整的報告創(chuàng)建功能。即使使用測量,多任務(wù)也可以進(jìn)行其他處理,包括創(chuàng)建報告。
5種內(nèi)臟器官
準(zhǔn)直器的小直徑為0.1φmm,可以測量極小的部件。標(biāo)準(zhǔn)·0.1,0.2,0.5,1.0,2.0
另外,有兩種特殊規(guī)格可供選擇。
·
0.05,0.1,0.2,0.3,0.5·0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5
自診斷功能和X射線管維護(hù)功能
自診斷功能可以快速解決設(shè)備故障。此外,還增加了X射線管使用時間和耐久時間顯示功能,以支持維護(hù)安全。
薄膜厚度測量期間的光譜顯示
使用多通道進(jìn)行頻譜分析高速處理可實現(xiàn)對象的簡單操作和頻譜顯示。(處理速度約2-3秒)
顯示測量單位監(jiān)視器圖像
將X射線照射單元裝載在Windows屏幕上并顯示X射線照射單元。準(zhǔn)直器使得可以改變放大率。
關(guān)于Be window X射線管(選項)的性能提高(高精度)
我們?yōu)閄射線熒光膜厚度計EX-731準(zhǔn)備了Be X射線管(可選)
。通過使用該選項,
可以在Cr測量和Ni測量中大大提高重復(fù)測量的精度。
關(guān)于績效改進(jìn)的說明
高能量(高原子序數(shù))Sn
的測量與以前相同,但是在測量低能量(低原子序數(shù))Cr和Ni的情況下,取決于膜厚度,Cr超過3倍,Ni超過2倍或更多重復(fù)
倒鉤精度有所改善。如果在兩個層測量表面層的Au是略中間
層的Ni已經(jīng)由約20%提高接收貢獻(xiàn)的精度。熒光X射線法的厚度計
在生成其中獲得的熒光X射線強(qiáng)度的過程中的情況下,重復(fù)測定精度(標(biāo)準(zhǔn)偏差)
是由于統(tǒng)計波動確定的,施加成為窗口的X射線管(可選)
由此可知,與以往的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)相比,在Cr的情況下,獲得了約9倍以上的熒光X射線強(qiáng)度
。因此,可以在短時間內(nèi)以與傳統(tǒng)相同的精度進(jìn)行測量。
請考慮使用此Be窗口X射線管。
測量屏幕
直方圖
類型 | 手動階段 | ||
測量頭 | 尺寸(mm) | 170 x 110 | |
移動量 | X(mm) | 70 | |
Y(mm) | 70 | ||
Z(mm) | 80 | ||
測量物體高度() | 80 | ||
尺寸(mm) | 402(寬)x 430(長)x 580(高) | ||
重量(kg) | 48 | ||
樣品負(fù)荷(kg) | 3 | ||
計算機(jī) | 尺寸(mm) | 主體182(W)×383(D)×372(H) /監(jiān)視器412(W)×415(D)×432(H) | |
重量(kg) | Body 6.8 / Monitor 2.8 | ||
打印機(jī) | 重量(kg) | 3.4 | |
電源 | AC 100 V±10 V. |
注意:規(guī)格如有更改,恕不另行通知。
X射線源 | 油浸式緊湊型微焦X射線管 靶:鎢 管電壓50kV 管電流可變 |
照射方法 | 頂部垂直照射方法 |
探測器 | 比例計數(shù)器 |
準(zhǔn)直器 | 五種類型(自動切換型) 0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φmm (可選):0.05,0.1,0.2,0.3,0.5 ,φ :0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5φ |
樣品觀察 | CCD彩色攝像機(jī) |
計算機(jī) | PC / AT兼容 15英寸彩色顯示器 |
打印機(jī) | 噴墨打印機(jī) |
測量目標(biāo) | 原子序數(shù)22(Ti)至82(Pb) 原子序數(shù)21或更小可通過吸收法測量 |
過濾器 | 兩種類型(Co,Ni)自動切換 |
可衡量的范圍 | 原子No.22-24:0.02至約20μm 原子序數(shù)25至40:0.01至約30μm 原子序號41至51:0.02至約70μm 原子序號52至82:0.05至約10μm |
校準(zhǔn)曲線 | 校準(zhǔn)曲線自動創(chuàng)建功能 多點校準(zhǔn)曲線 |
校正功能 | 基礎(chǔ)修正 |
應(yīng)用 | 單層電鍍測量雙層 電鍍測量 三層電鍍測量 合金膜厚度成分比同時測量 化學(xué)鍍鎳測量 |
測量功能 | 輸出模式設(shè)定 光譜測量 2點距離測量 |
數(shù)據(jù)處理功能 | 統(tǒng)計顯示:平均值,標(biāo)準(zhǔn)差,值,小值,范圍,Cp,Cpk 直方圖 配置文件顯示 x-R控制圖 |
安全功能 | X射線電源鍵開關(guān) 故障安全功能 |
其他功能 | 密碼功能 設(shè)備維護(hù) |
日本電測膜厚計COSMOS-3X 日本電測膜厚計COSMOS-3X