更新時(shí)間:2024-08-01
日本canon-anelva M-350PG真空計(jì)電容計(jì) M-342DG(真空計(jì)) 電容計(jì) M-342DG
品牌 | 其他品牌 | 貨號(hào) | M-350PG |
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規(guī)格 | 1 | 供貨周期 | 一個(gè)月以上 |
主要用途 | 真空計(jì) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,電氣 |
測(cè)量精度 | 0.20(at 23℃) |
日本canon-anelva M-350PG真空計(jì)
日本canon-anelva M-350PG真空計(jì)
電容計(jì) M-342DG(真空計(jì)) 電容計(jì) M-342DG
電容式壓力計(jì)“M-342DG”壓力傳感器采用小型硅MEMS芯片,將溫度、振動(dòng)、大氣壓力波動(dòng)等外界環(huán)境的影響降至,從而實(shí)現(xiàn)高精度和穩(wěn)定的壓力測(cè)量。它是一種隔膜壓力實(shí)現(xiàn)最小調(diào)零頻率的儀表
特征 高精度和穩(wěn)定的壓力測(cè)量 ? 優(yōu)異的零點(diǎn)穩(wěn)定性 ? 低溫度依賴性和出色的穩(wěn)定性,無(wú)需溫度控制機(jī)制 ? 優(yōu)異的抗振噪音性能 緊湊和低功耗 -重量為 200 克,尺寸為 W46 毫米 x H49 毫米 x L106 毫米 (* 1) ? 功耗 0.5W * 1 質(zhì)量和尺寸適用于接頭 NW16 規(guī)格。 用 支持各種高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定的真空壓力測(cè)量 各種真空器件,如半導(dǎo)體、顯示器、太陽(yáng)能電池等。 ? 真空成膜過(guò)程壓力控制和監(jiān)測(cè),如濺射和PECVD ?負(fù)載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導(dǎo)入工序、系統(tǒng)壓力控制 醫(yī)療、生物科技、食品等行業(yè),以及各種研發(fā)應(yīng)用 各種鍍膜、等離子處理、真空密封、真空爐、分析儀、殺菌、真空泵評(píng)價(jià)、分子蒸餾等
型名 | M-342DG | ||||
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-1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
フルスケール圧力(Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
測(cè)定精度(% of reading) | 0.20(at 23℃) | ||||
ゼロ點(diǎn)溫度係數(shù)(% of F.S./℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
スパン溫度係數(shù)(% of reading/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
分解能(% of Full-scale) | 0.01 | 0.005 | |||
測(cè)定下限圧力(% of Full-scale) | 0.01 | ||||
実用測(cè)定下限圧力(% of Full-scale) | 0.05 | ||||
実用制御下限圧力(% of Full-scale) | 0.5 | ||||
応答速度(ms) | 100 | 30 | |||
加圧上限 | 200kPa(但しNW16、NW25のものは內(nèi)部が陽(yáng)圧にならないこと) *13.33Pa仕様は130kPa | ||||
電源電圧(VDC) | +13.5~26.4 | ||||
消費(fèi)電力(W) | 0.5 | ||||
アナログ出力(VDC) | 0~10 | ||||
使用溫度/保管溫度(℃) | 0~50/-20~70(非動(dòng)作時(shí)) | ||||
最大ケーブル長(zhǎng)(m) | 100(専用ケーブル) | ||||
ゼロ點(diǎn)調(diào)整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
接ガス部材質(zhì) | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
フランジ?形狀と質(zhì)量 | NW16(200g)、NW25(210g)、8-VCR メス(250g)、φ70ICF(460g) | ||||
対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 | ||||
安全保障貿(mào)易管理規(guī)制 | 非該當(dāng) | ||||
対応表示器 | M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) |